ELLIPSOMÈTRE

Ellipsomètre
Domaine des longueurs d’onde 250 – 850 nm
Vitesse d’acquisition 180 ms
Résolution spectrale 0.5 nm

EXEMPLES DE RÉSULTATS

L’ellipsométrie est une technique optique de caractérisation et d’analyse de surface. Elle permet de visualiser la surface d’un échantillon et mesurer les paramètres suivants :

  • Les constantes optiques des matériaux.

  • L’épaisseur de couches minces (du nanomètre au micromètre).

  • La rugosité de surface.

  • Les propriétés (matériaux, géométrie) d’un motif périodique.

  • Le suivi in situ de la croissance d’une couche.

  • La caractérisation des interfaces liquide-solide ou liquide-liquide.

  • L’analyse des couches de protection et le traitement de surface par recuit.

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